ランド/グルーブ基板への均一スパッタ成膜の検討 Study of Uniform Sputtering Deposition Method for Magneto-Optical Disk with Land/Groove Substrate

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抄録

Uniformity of the thickness of magnetic film on land/groove substrate was improved using collimated-sputtering method. The magnetic properties of TbFeCo films and interface wall energy of exchange-coupled double layer DyFeCo/TbFeCo films were compared with conventional sputtering method. There was not much difference of the magnetic properties and interface wall energy between two sputtering methods. It was confirmed that this method was effective in production of high recording density MO disk using land/groove substrate.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 41(12), 1034-1038, 1998-12-20 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002475988
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    971694
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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