ランド/グルーブ基板への均一スパッタ成膜の検討 Study of Uniform Sputtering Deposition Method for Magneto-Optical Disk with Land/Groove Substrate

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

抄録

Uniformity of the thickness of magnetic film on land/groove substrate was improved using collimated-sputtering method. The magnetic properties of TbFeCo films and interface wall energy of exchange-coupled double layer DyFeCo/TbFeCo films were compared with conventional sputtering method. There was not much difference of the magnetic properties and interface wall energy between two sputtering methods. It was confirmed that this method was effective in production of high recording density MO disk using land/groove substrate.

収録刊行物

  • 真空

    真空 41(12), 1034-1038, 1998-12-20

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

  • <no title>

    FUKUMOTO A.

    Tech. Dig. of Symp. Optical Memory '94 43, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    MORITA S.

    Jpn. J. Appl. Phys. 36, 444, 1997

    被引用文献12件

  • <no title>

    ROSSNAGEL S. M.

    J. Vac. Sci. Technol. A9, 261, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    有宗

    第9回日本応用磁気学会学術講演概要集 28pA-14, 211, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    ARATANI K.

    Proc. SPIE 1499 209, 1991

    被引用文献3件

  • <no title>

    KOBAYASHI T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 20, 2089, 1981

    被引用文献10件

  • <no title>

    TOKUNAGA T.

    J. Appl. Phys. 67(9), 4417, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    FUKAMI T.

    J. Appl. Phys. 67(9), 4415, 1990

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002475988
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    971694
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ