金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工 Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei

この論文にアクセスする

この論文をさがす

著者

    • 金山 敏彦 KANAYAMA Toshihiko
    • アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所 Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research
    • 多田 哲也 TADA Tetsuya
    • アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所 Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(2), 91-96, 1999-02

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

  • <no title>

    NOTZEL R.

    Nature 369, 131, 1994

    被引用文献41件

  • <no title>

    OSHINOWO J.

    Appl. Phys. Lett. 65, 1421, 1994

    被引用文献30件

  • <no title>

    YAZAWA M.

    Appl. Phys. Lett. 61, 2051, 1992

    被引用文献3件

  • <no title>

    WIEDENSOHLER A.

    Appl. Phys. Lett. 61, 837, 1992

    被引用文献4件

  • <no title>

    TADA T.

    Appl. Phys. Lett. 70, 2538, 1997

    被引用文献4件

  • <no title>

    TADA T.

    J. Phys. D : Applied Physics 31, L21, 1998

    被引用文献3件

  • <no title>

    KANAYAMA T.

    Materials Chemistry and Physics 54, 238, 1998

    被引用文献2件

  • <no title>

    MULLINS C. B.

    J. Appl. Phys. 76, 7562, 1994

    被引用文献4件

  • <no title>

    TACHI S.

    Appl. Phys. Lett. 52, 616, 1988

    被引用文献5件

  • <no title>

    GOLDBY I. M.

    Appl. Phys. Lett. 69, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    KOGA K.

    Rev. Sci. Instrum. 67, 4092, 1996

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    COBURN J. W.

    Appl. Phys. A59, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    CARROLL S. J.

    J. Phys. : Condens. Matter Letters 8, L617-L624, 1996

    被引用文献3件

  • <no title>

    FRANCIS G. M.

    J. Chem. Soc., Dalton Trans. 1996(5), 665, 1996

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    TADA T.

    J.Vac.Sci.& Technol. B16, 3934, 1998

    DOI 被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476126
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4677317
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
ページトップへ