金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工 Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei

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著者

    • 金山 敏彦 KANAYAMA Toshihiko
    • アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所 Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research
    • 多田 哲也 TADA Tetsuya
    • アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所 Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(2), 91-96, 1999-02 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  15件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476126
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4677317
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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