金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工

• 金山 敏彦

  アトムテクノロジー研究体, 産業技術融合領域研究所

• 多田 哲也

  電子技術総合研究所

• 古賀 健司

  産業技術融合領域研究所

書誌事項

タイトル別名

• Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei.
• キンゾク クラスター オ ケイセイカク ト スル ナノ コウゾウ ノ エッチング カコウ

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (2), 91-96, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040225792
• NII論文ID: 10002476126
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.91
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4677317
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4677317
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles