Etching Fabrication of Nanostructures Using Metal Clusters as Formation Nuclei.

• KANAYAMA Toshihiko

  Joint Research Center for Atom Technology, National Institute for Advanced Interdisciplinary Research

• TADA Tetsuya

  電子技術総合研究所

• KOGA Kenji

  National Institute for Advanced Interdisciplinary, Research

Bibliographic Information

Other Title

• 金属クラスターを形成核とするナノ構造のエッチング加工
• キンゾク クラスター オ ケイセイカク ト スル ナノ コウゾウ ノ エッチング カコウ

Journal

• Shinku

  Shinku 42 (2), 91-96, 1999

  The Vacuum Society of Japan

Keywords

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

Details

• CRID: 1390282679040225792
• NII Article ID: 10002476126
• NII Book ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.91
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL BIB ID: 4677317
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4677317
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles