スパッタリング法による薄膜型固体電解質燃料電池の特性 Properties of SOFC Having YSZ Electrolyte Thin Film Grown by Sputtering

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抄録

Properties of yttria stabilized zirconia (YSZ) electrolyte thin films for solid oxide fuel cells (SOFCs), which were grown by RF magnetron sputtering method under the prepared conditions of the reduced pressure of 0.8 Pa and the substrate temperature of RT, have been investigated on the dependencies of the anneal temperatures and the sputtering RF powers. The sputtered films annealed at 1600°C were found to be the closed YSZ electrolytes having the bulk oxide structure without the pin-holes. A SOFC having the annealed YSZ electrolyte thin films indicated a stable power generation property with 0.9 V that this value nearly equals to the theoretical OCV.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(3), 151-154, 1999-03 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  3件

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476186
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4714119
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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