マイクロ波プラズマ化学気相合成法による薄膜型固体電解質燃料電池の特性 Properties of SOFC Having MSZ Electrolyte Thin Film Grown by PECVD

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抄録

Properties of magnesia stabilized zirconia (MSZ) electrolyte thin films for solid oxide fuel cells (SOFCs), which were grown by the plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) method, have been investigated on the microwave power dependencies and the anneal effect. MSZ thin films grown by microwave power of 500 W were found to be the columnar and closed electrolytes having a higher conductivity of 10<SUP>-3</SUP> S/cm. A SOFC having the annealed MSZ electrolyte thin films indicated a stable power generation property with 0.5 V although its value was reduced to lower half than the theoretical OCV of 0.915 V.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(3), 155-158, 1999-03 

    The Vacuum Society of Japan

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被引用文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476190
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4714155
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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