電界制御熱陰極マグネトロン真空計 A New Hot Cathode Magnetron Gauge with Electric Field Controlling

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抄録

Poisson's equation, ∇<SUP>2</SUP>φ=-ρ/ε<SUB>0</SUB>, shows that if the electric potential distribution or electric field in the space in which ions are generated is held constant, the distribution of the electric charge density is constant. By dividing the ion collectors of the gauge into two sections, and controlling the distribution ratio of ion current at a constant level against pressure, a constant distribution of the electric charge density is secured. Based upon this idea, a prototype of the magnetron gauge is built.<BR>It is found that the ion collector current is directly proportional to the pressure in a range of 1×10<SUP>-5</SUP>2×10<SUP>-9</SUP> [Pa].

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(3), 187-190, 1999-03 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  5件

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被引用文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476255
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4714395
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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