単一溶液原料を用いた化学気相成長法によるMn添加(Ba, Sr)TiO_3薄膜の合成 Preparation of Barium Strontium Titanate Thin Films by Liquid Source Chemical Vapor Deposition

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抄録

Manganese-doped barium strontium titanate ((Ba, Sr) TiO<SUB>3</SUB>) thin films were prepared on platinum coated magnesium oxide single-crystal substrates at 650°C by single liquid source chemical vapor deposition. These thin films showed a dielectric constant of 200 and a dielectric loss of 2% at 100 mV and 1 kHz. The leakage current of (Ba, Sr) TiO<SUB>3</SUB> films were decreased about three order of magnitude by Mn doping.

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(3), 368-371, 1999-03 

    The Vacuum Society of Japan

参考文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476614
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    4716387
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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