Ｃｄ，Ｔｅ分子線で照射されたＩｎＳｂ基板表面における反応生成物

• 矢野 満明

  大阪工業大学 新材料研究センター

• 御田村 和宏

  大阪工業大学 新材料研究センター

• 末吉 邦昭

  大阪工業大学 新材料研究センター

• 小池 一歩

  大阪工業大学 新材料研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Surface Reaction on an InSb Film Irradiated by Cd and Te2 Molecular Beams.
• Cd Te ブンシセン デ ショウシャ サレタ InSb キバン ヒョウメン ニ オケル ハンノウ セイセイブツ

抄録

In order to grow CdTe/InSb heterostructures by molecular beam epitaxy, the chemical reaction between InSb surface and molecular beams for CdTe growth was studied. The chemical reaction was analyzed by using reflection highenergy electron diffraction, Raman scattering, and Auger electron spectroscopy. It is revealed that In₂Te₃ compound is easily formed on the InSb surface irradiated by Te excess beams, which deteriorates the CdTe growth on it. This chemical reaction was inevitable even at 200°C under the Te excess beam condition but can be suppressed by using Cd excess beams. Under a Cd excess beam condition, high quality CdTe/InSb heterostructures of which photoluminescence spectra were dominated by CdTe exciton peaks were obtained at a substrate temperature as high as 280°C.

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 380-383, 1999

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679042099840
• NII論文ID: 10002476633
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.42.380
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 4716447
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4716447
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可