双極型静電チャックの内部電極の面積比が残留吸着力に及ぼす影響 The Effect of Internal Electrode Area Ratio of Bipolar Type Electrostatic Chuck on Residual Chucking Force

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著者

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 419, 1999-03

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    FIELD J.

    Solid State Technology (9), 91-98, 1994

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476718
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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