Al/TiN多層薄膜の微小押し込み硬さ試験におけるエネルギー散逸

• 沢平 嘉浩

  金沢工業大学 AMS R & D C

• 佐藤 彰繁

  金沢工業大学 AMS R & D C

• 菊地 直人

  金沢工業大学 AMS R & D C

• 草野 英二

  金沢工業大学 AMS R & D C

• 南戸 秀仁

  金沢工業大学 AMS R & D C

• 金原 粲

  金沢工業大学 AMS R & D C

書誌事項

タイトル別名

• Energy Dissipation in Al/TiN Multilayerd Films by Nano-Indentation

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 426-, 1999-03

詳細情報

• CRID: 1572543023949530112
• NII論文ID: 10002476738
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles