組成変調したTiN-Ti多層薄膜の構造と硬さおよび内部応力 Structure, Hardness and Internal Stress of Compositionally Modulated TiN-Ti Films with Multilayered Structure

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著者

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 429, 1999-03

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  • <no title>

    北河勝

    真空 41, 115, 1998

    被引用文献4件

  • <no title>

    LEHOCZKY S. L.

    J. App. Phys. 49, 5479, 1978

    DOI 被引用文献6件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476745
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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