ねじ溝式分子ドラグポンプの排気機構

• 澤田 雅

  秋田大学工学部資源学部

• 杉山 渉

  秋田大学工学部資源学部

書誌事項

タイトル別名

• Pumping Mechanism of Spiral Grooved Molecular Drag Pumps

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 446-, 1999-03

詳細情報

• CRID: 1573387448879658880
• NII論文ID: 10002476795
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles