高周波マグネトロンスパッタ法による窒化銅膜の作製 Copper Nitride Thin Films Prepared by R. F. Magnetron Sputtering

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収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 459, 1999-03

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  • <no title>

    野坂俊紀

    第31回真空に関する連合講演会予稿集 131, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    野坂俊紀

    真空 35, 248, 1992

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476831
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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