中間流におけるスピニングローター真空計の特性 Performance of a Spinning Rotor Gauge in Medium Flow Region

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  • 真空

    真空 42(3), 462, 1999-03

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  • <no title>

    FREMEREY J. K.

    J. Vac. Sci. Technol. 9, 108, 1972

    被引用文献2件

  • <no title>

    平田

    第37回真空に関する連合講演会予稿集

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  • <no title>

    HIRATA M.

    Vacuum 48-7/9, 727, 1997

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  • <no title>

    平田

    真空 38, 278, 1995

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476839
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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