多元同時スパッタリング法により作製したZnO系光記録膜 ZnO-Based Optical Recording Films Prepared by Radio Frequency Sputtering Using Multi-Targets

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著者

    • 青木 孝憲 AOKI Takanori
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 浜路 和昭 HAMAJI Kazuaki
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 鈴木 晶雄 SUZUKI Akio
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 松下 辰彦 MATSUSHITA Tatsuhiko
    • 大阪産業大学工学部電気電子工学科 Department of Electrical Engineering and Electronics, College of Engineering, Osaka Sangyo University
    • 奥田 昌宏 OKUDA Masahiro
    • 大阪府立大学工学部電子物理工学科 Department of Physics and Electronics, College of Engineering, Osaka Prefecture University

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 470, 1999-03

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    鈴木晶雄

    真空 41, 266, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUSHITA

    Jpn. J. Appl. Phys. 37, 1998

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476865
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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