多元同時スパッタリング法により作製したZnO系光記録膜

• 青木 孝憲

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 浜路 和昭

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 鈴木 晶雄

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 松下 辰彦

  大阪産業大学工学部電気電子工学科

• 奥田 昌宏

  大阪府立大学工学部電子物理工学科

書誌事項

タイトル別名

• ZnO-Based Optical Recording Films Prepared by Radio Frequency Sputtering Using Multi-Targets

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 470-, 1999-03

詳細情報

• CRID: 1572824498926220160
• NII論文ID: 10002476865
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles