マルチビーム薄膜形成装置の開発 Development of Multi-Beam Gas-Cluster Ion Beam System

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 473, 1999-03

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    重里有三

    応用物理 64, 1225, 1995

    被引用文献4件

  • <no title>

    MATSUO J.

    Mater. Res. Soc. Proc. 504, 87, 1999

    被引用文献1件

  • <no title>

    QIN W.

    Mat. Chem. and Phys. 54, 258, 1998

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476871
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ