セルプロジェクション方式電子ビームリソグラフィのシミュレータ開発 Development of a Simulator for Cell-projection Type Electron Beam Lithography

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収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 477, 1999-03

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    JANSEN H. G.

    Coulomb Interactions in Particle Beams, 1990

    被引用文献5件

  • <no title>

    MUNRO E.

    Nucl. Instrum. Method in Phys Res. A258, 443, 1987

    被引用文献2件

  • <no title>

    SOHDA Y.

    J. Vac. Sci Technol. B13, 2419, 1995

    被引用文献6件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476886
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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