小型マイクロ波イオン源のオゾンによる動作特性 Characteristics of the Ozone by the Microwave Ion Source

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収録刊行物

  • 真空

    真空 42(3), 479-480, 1999-03

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  • <no title>

    KUROKAWA A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1606, 1995

    被引用文献9件

  • <no title>

    祐延悟

    真空 40, 336, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    一村信吾

    電総研彙報 55, 105, 1991

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476892
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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