アクチノメータ法及びレーザー誘起蛍光法によるマイクロ波放電CH_<24>/H_2プラズマの診断

• 安井 利明

  大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻

• 小寺 秀和

  大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻

• 田原 弘一

  大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻

• 吉川 孝雄

  大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻

書誌事項

タイトル別名

• Diagnostics of CH_4/H_2 Microwave Plasma Using Actinometry Method and Laser Induced Fluorescence Spectroscopy

収録刊行物

• 真空

  真空 42 (3), 493-, 1999-03

詳細情報

• CRID: 1572824498926256000
• NII論文ID: 10002476933
• NII書誌ID: AN00119871
• ISSN: 05598516
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles