アクチノメータ法及びレーザー誘起蛍光法によるマイクロ波放電CH_<24>/H_2プラズマの診断 Diagnostics of CH_4/H_2 Microwave Plasma Using Actinometry Method and Laser Induced Fluorescence Spectroscopy

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著者

    • 安井 利明 YASUI Toshiaki
    • 大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻 Graduate School of Engineering Science, Osaka University
    • 小寺 秀和 KODERA Hidekazu
    • 大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻 Graduate School of Engineering Science, Osaka University
    • 田原 弘一 TAHARA Hirokazu
    • 大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻 Graduate School of Engineering Science, Osaka University
    • 吉川 孝雄 YOSHIKAWA Takao
    • 大阪大学大学院基礎工学研究科システム人間系専攻 Graduate School of Engineering Science, Osaka University

収録刊行物

  • 真空  

    真空 42(3), 493, 1999-03 

参考文献:  1件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002476933
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    05598516
  • データ提供元
    CJP書誌 
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