微細はりの振動特性評価によるシリコン酸化膜のヤング率推定

• 初沢 毅

• 岡村 泰雄

Bibliographic Information

Other Title

• ビサイハリ ノ シンドウ トクセイ ヒョウカ ニ ヨル シリコン サンカマク

Journal

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 34 (6), 479-482, 1998-06

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

Details

• CRID: 1520009410193433600
• NII Article ID: 10002492907
• NII Book ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL BIB ID: 4497170
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4497170
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles