放射光励起Al選択CVDとその反応制御機構 Synchrotron Radiation Induced Selective CVD of A1 and the Reaction Control Mechanisms

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  • 放射光

    放射光 8(1), 60-68, 1995-02-20

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

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被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

  • 佐賀県立九州シンクロトロン光研究センター事業の現状と利用計画

    小川 博司 , 鎌田 雅夫 , 西尾 光弘 , 増田 正孝 , 郭 其新 , 田中 徹 , 近藤 祐治 , 林田 和樹 , 本岡 輝昭

    電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = The transactions of the Institute of Electrical Engineers of Japan. C, A publication of Electronics, Information and System Society 124(7), 1345-1351, 2004-07-01

    DOI 参考文献22件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002496728
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10075706
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    09149287
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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