LIGAプロセスと磁気マイクロマシン
書誌事項
- タイトル別名
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- In this paper, we report about recent development of LIGA process in microfabrication technologies and magnetic micromachines obtained by this process
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収録刊行物
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- 日本応用磁気学会研究会資料
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日本応用磁気学会研究会資料 106 49-54, 1998-07-16
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1574231873812194432
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- NII論文ID
- 10002521575
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- NII書誌ID
- AN00351217
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- ISSN
- 13407562
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles