LIGAプロセスと磁気マイクロマシン In this paper, we report about recent development of LIGA process in microfabrication technologies and magnetic micromachines obtained by this process

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収録刊行物

  • 日本応用磁気学会研究会資料

    日本応用磁気学会研究会資料 106, 49-54, 1998-07-16

参考文献:  21件中 1-21件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002521575
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00351217
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13407562
  • データ提供元
    CJP書誌 
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