ファインパターン対応高信頼性ポジ型電着レジストの開発 Development of Posi Type Electrodeposition Resist for Fine-Line Etching

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著者

    • 田村 孝一 TAMURA Koichi
    • 関西ペイント株式会社新事業本部オプト・エレクトロ事業部 Opt・Electro Dept., New Business Div., Kansai Paint Co., Ltd.
    • 大西 晋輔 OHNISHI Shinsuke
    • 関西ペイント株式会社新事業本部オプト・エレクトロ事業部 Opt・Electro Dept., New Business Div., Kansai Paint Co., Ltd.
    • 山口 耕司 YAMAGUCHI Koji
    • 関西ペイント株式会社新事業本部オプト・エレクトロ事業部 Opt・Electro Dept., New Business Div., Kansai Paint Co., Ltd.

収録刊行物

  • 回路実装学会誌  

    回路実装学会誌 12(4), 221-223, 1997-07-20 

    The Japan Institute of Electronics Packaging

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002522586
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10564349
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13410571
  • NDL 記事登録ID
    4257792
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z16-1820
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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