単結晶シリコンの微細穴放電加工に関する研究

• 窪田 真一郎

  岡山県工業技術センター

• 横溝 精一

  岡山県工業技術センター

• 宇野 義幸

  岡山大学工学部

• 岡田 晃

  岡山大学工学部

• 田中 英登

  (株)化繊ノズル製作所

書誌事項

タイトル別名

• Study on Fine Boring of Single Crystalline Silicon by EDM

収録刊行物

• 電気加工学会全国大会講演論文集

  電気加工学会全国大会講演論文集 1995 133-136, 1995-10-01

詳細情報

• CRID: 1574231873812048384
• NII論文ID: 10002524709
• NII書誌ID: AA11592596
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles