Development of Mask-pattern projection optical system for Excimer Laser Ablation

• 皆川 忠郎

  三菱電機(株) 伊丹製作所

• 出雲 正雄

  三菱電機(株) 伊丹製作所

• 松下 嘉文

  三菱電機(株) 伊丹製作所

• 杉立 厚志

  三菱電機(株) 伊丹製作所

• 頭本 信行

  三菱電機(株) 生産技術センター

• 八木 俊憲

  三菱電機(株) 生産技術センター

Bibliographic Information

Other Title

• エキシマレーザー加工用転写光学系の開発

Journal

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 15 195-, 1995-01-01

Details

• CRID: 1573387448882069248
• NII Article ID: 10002525726
• NII Book ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles