半導体・液晶プロセスとしてのUVレーザ加工

• 石田 修一

  (株) 東芝生産技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• UV Laser processing for semiconductors and LCDs

収録刊行物

• レーザー研究

  レーザー研究 24 (Supplement), S9-S12, 1996

  一般社団法人 レーザー学会

詳細情報

• CRID: 1390001204650699264
• NII論文ID: 10002526037
• NII書誌ID: AA11604265
• DOI: 10.2184/lsj.24.supplement_s9
• ISSN: 13496603
• ISSN: 03870200
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj1973/24/Supplement/24_Supplement_S9/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles