短パルス固体レーザによる薄膜電子部品の微細加工

• 吉野 洋一

  日本電気株式会社レーザ・メカトロ事業部

• 羽根田 努

  日本電気株式会社レーザ・メカトロ事業部

• 久所 之夫

  日本電気株式会社レーザ・メカトロ事業部

• 梶川 敏和

  日本電気株式会社レーザ・メカトロ事業部

書誌事項

タイトル別名

• Micro-machining of Thin-film with Short Pulse Solid-State Laser

収録刊行物

• レーザー研究

  レーザー研究 24 (Supplement), S13-S15, 1996

  一般社団法人 レーザー学会

詳細情報

• CRID: 1390282679627404160
• NII論文ID: 10002526042
• NII書誌ID: AA11604265
• DOI: 10.2184/lsj.24.supplement_s13
• ISSN: 13496603
• ISSN: 03870200
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj1973/24/Supplement/24_Supplement_S13/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles