オフ・アクシスレーザーアブレーション法によるTa_2O_5薄膜の堆積(II) Deposition of Ta_2O_5 Thin Films by Off-axis Laser Ablation Method(II)

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収録刊行物

  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers  

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 16, 151, 1996-01-01 

参考文献:  2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002526336
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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