オフ・アクシスレーザーアブレーション法によるTa_2O_5薄膜の堆積(II)

• 尾崎 立哉

  防衛大学校

• 井上 成美

  防衛大学校

• 柏原 茂

  防衛大学校

• 戸嶋 成忠

  防衛大学校

• 藤本 良三

  日本文理大学

書誌事項

タイトル別名

• Deposition of Ta_2O_5 Thin Films by Off-axis Laser Ablation Method(II)

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 16 151-, 1996-01-01

詳細情報

• CRID: 1570291224138167040
• NII論文ID: 10002526336
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles