ArFエキシマレーザーによるSi_3N_4膜の表面改質

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タイトル別名
  • Surface alteration of Si_3N_4 film with ArF excimer laser

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詳細情報

  • CRID
    1571698599021721984
  • NII論文ID
    10002526395
  • NII書誌ID
    AA11604265
  • ISSN
    09136355
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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