LSI中の微細Al配線のエレクトロマイグレーションによる劣化機構

• 金子 尚史

• 川ノ上 孝

Bibliographic Information

Other Title

• LSIチュウ ノ ビサイ Al ハイセン ノ エレクトロマイグレーション ニヨ
• 特集「機能性材料の経年劣化の機構と寿命予測」
• トクシュウ キノウセイ ザイリョウ ノ ケイネン レッカ ノ キコウ ト ジュ

Journal

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 36 (4), 306-310, 1997-04

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

Details

• CRID: 1520290885316471936
• NII Article ID: 10002541602
• NII Book ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL BIB ID: 4194398
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4194398
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles