アルミニウム配線のストレスマイグレーション Stress Migration in Aluminum Interconnects

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  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 36(6), 565-570, 1997-06

    日本金属学会

参考文献:  40件中 1-40件 を表示

  • <no title>

    OKABAYASHI H.

    Materials Science and Engineering R11, 191, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    HO P. S.

    Rep. Prog. Phys. 52, 301, 1989

    被引用文献3件

  • <no title>

    LATHAM J. I.

    Thin Solid Films 64, 9, 1979

    被引用文献6件

  • <no title>

    KLEMA J.

    Proc. 1984 Int. Reliability Physics Symp. 1, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    CURRY J.

    Proc. 1984 Int. Reliability Physics Symp. 6, 1984

    被引用文献1件

  • <no title>

    SUGANO Y.

    Proc. 1988 Int. Reliability Physics Symp. 34, 1988

    被引用文献1件

  • <no title>

    HINODE K.

    IEEE Trans. Electron Devices 36, 1050, 1989

    被引用文献3件

  • <no title>

    YEO I. -S.

    Stress-Induced Phenomena in Metallization(AIP Conf. Proc. 373) 58, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKABAYASHI H.

    Stress-Induced Phenomena in Metallization 33, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHIN H.

    Proc. 1991 Int. VLSI Multilevel Interconnect. Conf. 292, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKABAYASHI H.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 1.337 503, 1994

    被引用文献1件

  • <no title>

    OWADA N.

    Proc. 1985 Int. VLSI Multilevel Interconnect. Conf. 173, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    HASUNUMA M.

    Technical Digest, 1989 Int. Electron Devices Meeting 677, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    KANEKO H.

    Proc. 1990 Int. Reliability Phys. Symp. 194, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    TEZAKI A.

    Proc. 1990 Int. Reliability Phys. Symp. 221, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAGI H.

    Stress-Induced Phenomena in Metallization, American Vac. Soc. Series 13 44, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    MOSKE M. A.

    Stress-Induced Phenomena in Metallization, American Vac. Soc. Series 13 195, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    JONES R. E. Jr

    Proc. 1987 Int. Reliability Physics Symp. 9, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    NIWA H.

    J. Appl. Phys. 68, 328, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    KORHONEN M. A.

    J. Appl. Phys. 70, 6774, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    HOSODA T.

    Proc. 1991 Int. Reliability Phys. Symp. 77, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAUTER A. I.

    Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 188, 15, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    McPHERSON J. W.

    J. Vac. Sci. Technol. B5, 1321, 1987

    被引用文献2件

  • <no title>

    OKABAYASHI H.

    IEEE Trans. on Electron Devices 40, 782, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOST F. G.

    Scr. Metall. 23, 1323, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    YOST F. G.

    Proc. 1990 Int. Reliability Phys. Symp. 40, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    KATO M.

    J. Appl. Phys. 68, 334, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    SAUTER A. I.

    J. Mater. Res. 7, 1133, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    KITAMURA T.

    JSME Int. Journal, Series A 36, 146, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    AMES I.

    IBM Res. Develop. 4, 461, 1970

    被引用文献1件

  • <no title>

    MAYUMI S.

    Proc. 1987 Int. Reliability Phys. Symp. 15, 1987

    被引用文献1件

  • <no title>

    YAMAJI T.

    Proc. 1991 Int. Reliability Physics Symp. 84, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    YUE J. T.

    Proc. 1985 Int. Reliability Phys. Symp. 126, 1985

    被引用文献1件

  • <no title>

    TANIKAWA A.

    Proc. 1990 Int. Reliability Phys. Symp. 209, 1990

    被引用文献2件

  • <no title>

    HIRASHITA N.

    Proc. 1990 Int. Reliability. Phys. Symp. 216, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    OGAWA S. -I.

    Technical Digest, 1991 Int. Electron Device Meeting 277, 1991

    被引用文献1件

  • <no title>

    KIKKAWA T.

    Proc. 1989 Int. VLSI Multilevel Interconnection Conf. 463, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    TOKUNAGA K.

    J. Electrochem. Soc. 138, 176, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    HERRING C.

    J.Appl.Phys. 21, 437, 1950

    DOI 被引用文献19件

  • <no title>

    KOUBUCHI Y.

    J. Vac. Sci. Technol. B8, 1232, 1990

    DOI 被引用文献2件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002542191
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4237664
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL 
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