LSIアルミニウム配線のエレクトロマイグレーション Electromigration in LSI Aluminum Metallization

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  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 36(6), 571-576, 1997-06

    The Japan Institute of Metals and Materials

参考文献:  32件中 1-32件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002542232
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4237665
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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