アルミニウム配線のバリア材

• 嶋 昇平

Bibliographic Information

Other Title

• アルミニウム ハイセン ノ バリアザイ
• 特集 超高集積化デバイスでのアルミニウム配線材料の課題
• トクシュウ チョウ コウ シュウセキカ デバイス デ ノ アルミニウム ハイセ

Journal

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 36 (6), 582-586, 1997-06

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

Details

• CRID: 1520290885303505280
• NII Article ID: 10002542284
• NII Book ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL BIB ID: 4237667
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4237667
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles