MOCVDによる高品質アルミニウム膜作製法 Growth of High Quality Al Film by MOCVD

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  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 36(6), 587-592, 1997-06

    日本金属学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

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    鈴木寿哉

    月刊Semiconductor World 12, 135, 1996

    被引用文献1件

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    KAGEYAMA M.

    Extended Abstracts of The Intern. Conf. on Solid State Devices and Materials 118, 1996

    被引用文献1件

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    AMAZAWA T.

    Proc. IEEE, Intern. Electron. Device Meet. 91, 265, 1991

    被引用文献1件

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    PARANJPE A. P.

    Advanced Metalization for ULSI Applications and Interconnect Systems, 1995

    被引用文献1件

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    AMAZAWA T.

    Proc. Intern. Workshop on Advanced LSI's 1996, 1996

    被引用文献1件

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    SUZUKI T.

    Proc. of Advanced Metalization and Interconnect Systems for ULSI Applications in JAPAN Session 121, 1996

    被引用文献1件

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    KATAGIRI T.

    Jpn. Appl. Phys. 32, L1078, 1993

    被引用文献1件

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    KONDOH E.

    J. Electrochem. Soc. 141, 3494, 1994

    被引用文献1件

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    TSUBOUCHI K.

    Appl. Phy. Letters 57, 1221, 1990

    被引用文献1件

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    TAKEYASU N.

    Jpn. J. Appl. Phys. 33, 424, 1994

    被引用文献4件

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    MATSUMIYA Y.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L17, 1995

    被引用文献1件

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    TSUBOUCHI K.

    Proc. IEEE, Intern. Electron. Device Meet. 91, 269, 1991

    被引用文献1件

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    HAN J.

    Appl. Phys. Lett. 64, 425, 1994

    被引用文献2件

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    SPECKMAN D. M.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 334, 283, 1994

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    Chem, Mater 6, 935, 1994

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    MATSUMIYA Y.

    Advanced Metalization for ULSI Applications and Interconnect Systems, 1995

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    MASU K.

    Proc. of Advanced Metalization for ULSI Applications(Mat. Res. Soc. Pittsburgh, 1994) 477, 1994

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    KAWANO Y.

    Proc. of Advanced Metalization for ULSI Applications(Mat. Res. Soc. Pittsburgh, 1994) 317, 1993

    被引用文献1件

  • 新核形成法によるバリヤ層のないCVD-Al埋込配線形成

    新澤 勉 , 菅井 和己 , 小林 明子 , 林 喜宏 , 中島 努 , 岸田 俊二 , 岡林 秀和 , 八子 忠明 , 恒成 欣嗣 , 村尾 幸信

    電子情報通信学会論文誌. C-II, エレクトロニクス, II-電子素子・応用 J78-C-2(5), 230-236, 1995-05-25

    参考文献12件 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002542290
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4237668
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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