スパッタリングによる表面改質

• 高井 治

書誌事項

タイトル別名

• スパッタリング ニヨル ヒョウメン カイシツ
• ミニ特集 『高エネルギービームによる材料の表面改質』
• ミニ トクシュウ コウエネルギー ビーム ニヨル ザイリョウ ノ ヒョウメン

収録刊行物

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 36 (8), 786-790, 1997-08

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

詳細情報

• CRID: 1520572360291906560
• NII論文ID: 10002542874
• NII書誌ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 4285266
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4285266
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles