高純度オゾンビームを用いたシリコン極薄酸化膜の形成と評価 Analysis of SiO_2 Thin Film on Si Substrate Formed with High Purity Ozone Beam

この論文をさがす

著者

収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 37(3), 166-170, 1998-03

    日本金属学会

参考文献:  29件中 1-29件 を表示

  • <no title>

    HORVATH M.

    Ozone, 1985

    被引用文献8件

  • <no title>

    FUJINO K.

    J. Electrochem. Soc. 138, 3727, 1991

    被引用文献2件

  • <no title>

    SATO N.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, L110, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    AWAJI N.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1013, 1995

    被引用文献14件

  • <no title>

    AWAJI N.

    Jpn. J. Appl. Phys. 35, L67, 1996

    被引用文献10件

  • <no title>

    CHAO S. C.

    J. Electrochem. Soc. 136, 2751, 1989

    被引用文献4件

  • <no title>

    NONAKA H.

    Mat. Res. Soc. Proc. 466, 53-58, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHEN Y. R.

    Annu. Rev. Phys. Chem. 40, 327, 1989

    被引用文献13件

  • <no title>

    LU Z.

    Appl. Phys. Lett. 63, 2941, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    NONAKA H.

    Mat. Res. Soc. Proc. 477, 493-498, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUROKAWA A.

    Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1606, 1995

    被引用文献9件

  • <no title>

    ENGEL T.

    Surf. Sci. Rept. 18, 91, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    Suzuki T.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, L610, 1993

    被引用文献8件

  • <no title>

    GUPTA P.

    Phys. Rev. B40, 7739, 1989

    被引用文献4件

  • <no title>

    TANUMA S.

    Surf. Interf. Anal. 11, 577, 1988

    被引用文献5件

  • <no title>

    NAKAMURA K.

    Surf. Interf. Anal. 25, 88, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    KUROKAWA A.

    Appl. Surf. Sci. 100/101, 436, 1996

    被引用文献4件

  • <no title>

    STOCKHAUSEN A.

    Appl. Phys. Sci. 56, 795, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    PAULING L.

    The Nature of Chemical Bond, 1982

    被引用文献1件

  • <no title>

    KUROKAWA A.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 477, 359, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    OKABE H.

    Photochemistry of Small Molecules 237, 1978

    被引用文献3件

  • <no title>

    鷲田伸明

    国立公害研究所(現国立環境研究所)研究報告 85, 46, 1985

    被引用文献3件

  • <no title>

    KAZOR A.

    Electronics Lett. 29, 115, 1993

    DOI 被引用文献6件

  • <no title>

    THOMPSON W. H.

    J. Appl. Phys. 80, 5415, 1996

    DOI 被引用文献4件

  • <no title>

    HOSOKAWA S.

    Rev. Sci. Instrum. 62, 1614, 1991

    DOI 被引用文献22件

  • <no title>

    HOSOKAWA S.

    Rev. Sci. Instrum. 62, 1614, 1991

    DOI 被引用文献22件

  • <no title>

    HOSOKAWA S.

    Rev. Sci. Instrum. 62, 1614, 1991

    DOI 被引用文献22件

  • <no title>

    ICHIMURA S.

    J.Vac.Sci.& Technol. A9, 2369, 1991

    DOI 被引用文献20件

  • <no title>

    NAKAMURA K.

    J. Vac. Sci. Technol. 15(4)

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002545001
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4437198
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
ページトップへ