高純度オゾンビームを用いたシリコン極薄酸化膜の形成と評価
Bibliographic Information
- Other Title
-
- コウ ジュンド オゾン ビーム オ モチイタ シリコン ゴクウス サンカ マク
- ミニ特集 「表面酸化の評価と制御」
- ミニ トクシュウ ヒョウメン サンカ ノ ヒョウカ ト セイギョ
Search this article
Journal
-
- まてりあ = Materia Japan
-
まてりあ = Materia Japan 37 (3), 166-170, 1998-03
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
- Tweet
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1520009410328708480
-
- NII Article ID
- 10002545001
-
- NII Book ID
- AN10433227
-
- ISSN
- 13402625
-
- NDL BIB ID
- 4437198
-
- Text Lang
- ja
-
- NDL Source Classification
-
- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
-
- Data Source
-
- NDL
- CiNii Articles