スパッタ雰囲気の極清浄化 Extremely Clean Sputtering Atmosphere

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著者

    • 高橋 研 TAKAHASHI Migaku
    • 東北大学工学研究科電子工学 Department of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University

収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 37(9), 789, 1998-09-20

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

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    TAKAHASHI M.

    IEEE Trans. Magn. MAG-26, 1485, 1990

    被引用文献11件

  • <no title>

    TAKAHASHI M.

    IEEE Trans. Magn. 33, 2938, 1997

    被引用文献10件

  • <no title>

    UNEYAMA K.

    IEEE Trans. Magn. 33, 3685, 1997

    被引用文献4件

  • <no title>

    SUEMITSU M.

    J. Vac. Sci. Technol. A 10, 570, 1992

    DOI 被引用文献2件

被引用文献:  4件中 1-4件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002546492
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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