スパッタ雰囲気の極清浄化 Extremely Clean Sputtering Atmosphere

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著者

    • 高橋 研 TAKAHASHI Migaku
    • 東北大学工学研究科電子工学 Department of Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Tohoku University

収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報  

    まてりあ : 日本金属学会会報 37(9), 789, 1998-09-20 

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被引用文献:  4件

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002546492
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    13402625
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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