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- 高橋 研
- 東北大学工学研究科電子工学
書誌事項
- タイトル別名
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- Extremely Clean Sputtering Atmosphere
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収録刊行物
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- まてりあ : 日本金属学会会報
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まてりあ : 日本金属学会会報 37 (9), 789-, 1998-09-20
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571698599017868800
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- NII論文ID
- 10002546492
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- NII書誌ID
- AN10433227
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- ISSN
- 13402625
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles