超高純度ガス供給用100%Cr_2O_3被覆ステンレス配管「スミクリーンF」の開発 Development of 'Sumiclean F' Stainless Steel Tubing Covered 100%Cr_2O_3 Film for Ultra High Purity Gas Distribution

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収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 38(1), 61-63, 1999-01-20

    日本金属学会

参考文献:  11件中 1-11件 を表示

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    大見忠弘

    ガスサイエンスが拓くプロダクトイノベーション, 1996

    被引用文献3件

  • <no title>

    東茂樹

    まてりあ 35, 436, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    OHMI T.

    J. Electrochem. Soc. 142, 2362, 1995

    被引用文献2件

  • <no title>

    OHMI T.

    J. Electrochem. Soc. 140, 1691, 1993

    被引用文献4件

  • <no title>

    寺西洋志

    ウルトラクリーンテクノロジー 8, 90, 1996

    被引用文献1件

  • 44th Annual Technical Meeting of Inst. Envir. Sci. Tech.

    AZUMA S.

    Contamination Control 294, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    白井康雪

    ウルトラクリーンテクノロジー 8, 98, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    大見忠弘

    第44回材料と環境討論会特別講演, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    大見忠弘

    日経マイクロデバイス (6), 133, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    OHMI T.

    J.Vac.Sci.Techmol. A14, 2505, 1996

    DOI 被引用文献2件

  • Cr_3O_3 Passivated Gas Tubing System for Specialty Gases

    SHIRAI Yasuyuki , NARAZAKI Masaki , OHMI Tadahiro

    IEICE transactions on electronics 79(3), 385-391, 1996-03-25

    参考文献10件 被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002547051
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    NOT
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4636137
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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