次世代対応イオン注入装置を目指して

• 佐野 信

• 日高 義朝

書誌事項

タイトル別名

• ジ セダイ タイオウ イオン チュウニュウ ソウチ オ メザシテ
• ミニ特集「最近のイオン・インプランテーション技術」
• ミニ トクシュウ サイキン ノ イオン インプランテーション ギジュツ

収録刊行物

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 38 (2), 107-110, 1999-02

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

詳細情報

• CRID: 1520009410364340992
• NII論文ID: 10002547124
• NII書誌ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 4788646
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4788646
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles