プラズマ窒化における励起種の役割

• 桑原 秀行

書誌事項

タイトル別名

• プラズマ チッカ ニ オケル レイキシュ ノ ヤクワリ
• ミニ特集「最近のイオン・インプランテーション技術」
• ミニ トクシュウ サイキン ノ イオン インプランテーション ギジュツ

収録刊行物

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 38 (2), 115-120, 1999-02

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

詳細情報

• CRID: 1520853835265225216
• NII論文ID: 10002547138
• NII書誌ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 4788657
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4788657
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles