プラズマ窒化における励起種の役割
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- Other Title
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- プラズマ チッカ ニ オケル レイキシュ ノ ヤクワリ
- ミニ特集「最近のイオン・インプランテーション技術」
- ミニ トクシュウ サイキン ノ イオン インプランテーション ギジュツ
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Journal
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- まてりあ = Materia Japan
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まてりあ = Materia Japan 38 (2), 115-120, 1999-02
仙台 : 日本金属学会 ; 1994-
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Details
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- CRID
- 1520853835265225216
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- NII Article ID
- 10002547138
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- NII Book ID
- AN10433227
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- ISSN
- 13402625
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- NDL BIB ID
- 4788657
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- Text Lang
- ja
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- NDL Source Classification
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- ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
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- Data Source
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- NDL
- CiNii Articles