イオン・インプランテーション技術の表面改質プロセスへの展開 Progress in Ion Implantation Technology on Surface Modification Process

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著者

    • 三尾 淳 MITSUO Atsushi
    • 東京都立産業技術研究所研究開発部表面技術グループ R & D, Surface Technology Group, Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute

収録刊行物

  • まてりあ : 日本金属学会会報

    まてりあ : 日本金属学会会報 38(2), 121-125, 1999-02-20

    日本金属学会

参考文献:  27件中 1-27件 を表示

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各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002547161
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10433227
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13402625
  • NDL 記事登録ID
    4788666
  • NDL 雑誌分類
    ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
  • NDL 請求記号
    Z17-313
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL 
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