イオン・インプランテーション技術の表面改質プロセスへの展開

• 三尾 淳

• 相澤 龍彦

書誌事項

タイトル別名

• イオン インプランテーション ギジュツ ノ ヒョウメン カイシツ プロセス エ ノ テンカイ
• ミニ特集「最近のイオン・インプランテーション技術」
• ミニ トクシュウ サイキン ノ イオン インプランテーション ギジュツ

収録刊行物

• まてりあ = Materia Japan

  まてりあ = Materia Japan 38 (2), 121-125, 1999-02

  仙台 : 日本金属学会 ; 1994-

詳細情報

• CRID: 1520009410344990592
• NII論文ID: 10002547161
• NII書誌ID: AN10433227
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 4788666
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I4788666
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles