高純度アルミニウム軟質箔の交流エッチング挙動に及ぼす箔特性の影響

• 山越 哲弥

  東洋アルミニウム(株)

• 清水 遵

  東洋アルミニウム(株)

• 足高 善也

  東洋アルミニウム(株)

• 横手 隆昌

  東洋アルミニウム(株)

書誌事項

タイトル別名

• Effect of the foil characteristics on the AC etching behavior of annealed high purity aluminium foil

収録刊行物

• 大会講演概要

  大会講演概要 90 331-332, 1996-05

詳細情報

• CRID: 1570291224142699264
• NII論文ID: 10002557228
• NII書誌ID: AN10268641
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles