高純度アルミニウムの交流エッチング特性に及ぼす焼鈍条件の影響

• 坂田 真理子

  神戸製鋼

• 櫻井 真紀

  神戸製鋼

• 大脇 武史

  神戸製鋼

• 西澤 節

  神戸製鋼

書誌事項

タイトル別名

• The effect of annealing on high purity aluminum after A. C. etching

収録刊行物

• 大会講演概要

  大会講演概要 91 275-276, 1996-11

詳細情報

• CRID: 1571417124049694720
• NII論文ID: 10002557667
• NII書誌ID: AN10268641
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles