窒素イオン注入法によるアルミニウム上へのAlNの形成 Formation of AlN in aluminum by N_2^+ ion implantation

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  • 大会講演概要

    大会講演概要 92, 125-126, 1997-05

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    LIESKE N.

    J. Appl. Phys. 52(9), 5806, 1981

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    GAUTIER M.

    J. Appl. Phys. 61(2), 574, 1987

    DOI 被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002557962
  • NII書誌ID(NCID)
    AN10268641
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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