レーザー干渉縞の位相速度走査法による弾性表面波を用いた薄膜の弾性率の推定

• 長 秀雄

  東北大学

• 上原 俊紀

  東北大学(院)

• 佐藤 倬暢

  株式会社 フジクラ

• 山中 一司

  東北大学

書誌事項

タイトル別名

• Evaluation of elastic properties of thin films by velocity dispersion of surface acoustic waves induced by phase velocity scanning of laser interference fringes.

収録刊行物

• 大会講演概要集

  大会講演概要集 1999 (1), 143-146, 1999-05-26

キーワード

• 薄膜
• 逆問題解析
• 弾性率
• 位相速度走査法
• 速度分散曲線
• マイクロマシン

詳細情報

• CRID: 1573387448880846336
• NII論文ID: 10002582196
• NII書誌ID: AA11592632
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles